总投资370亿！国内第一条12英寸MEMS量产线正式投产

6月28日，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”），在广州增城开发区举行投产仪式，中国国内第一条12英寸MEMS量产线正式投产。

据官网介绍，增芯项目由广州智能传感器产业集团发起，于2021年4月成立，定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂，针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件（如力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片等），打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台，产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺，对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。

对于建设计划，增芯科技按照“一次规划、分步实施”原则，计划用5年时间投资370亿元，在广州市增城区建设两座智能化晶圆厂，总产能达到12万片/月。

其中，增芯项目第一座晶圆厂（FAB1）分两期，第一期产能2万片/月，总投资70亿元；第二期产能4万片/月，总投资100亿元；第二座晶圆厂（FAB2）为第三期，产能6万片/月，总投资200亿元。第一座晶圆厂预计2026年满产，第二座晶圆厂预计2027年满产。

2022年12月14日，增芯项目一期第一阶段项目正式开工建设，批复投资70亿元人民币，建设月加工2万片12英寸的MEMS晶圆制造量产线。

6月28日，增芯项目投产活动举行，中国第一条12英寸MEMS量产线进入生产阶段，本次投产的为增芯项目第一座晶圆厂一期。此前相关报道显示，增芯项目将在2024年实现“3月光刻机进场、6月通线、9月产品下线、12月交付客户”的阶段性目标。

近年来，广东省正在以智能传感器、模拟芯片等产品为突破口带动半导体产业发展，大力推进“强芯工程”建设，增芯项目的快速投产便是其中的缩影。

在传感器技术朝着微型化、集成化、模块化、智能化方向演进的当前，MEMS技术已成为一场必然的技术革命。

据Yole最新产业报道的数据显示，2023年中国大陆仅生产了约9万片MEMS晶圆，远远不足与北美、欧洲、日本等地区110万、75万的产量相提并论。而中国却有着在消费电子、汽车、自动驾驶、人工智能等产业市场下的广袤的需求。在国内积极推进产线建设的同时，也对本土MEMS企业在全球化市场中的竞争力提出更高要求。