中国首条12英寸先进传感器中试线成功通线

6月30日，由国家智能传感器创新中心(以下简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

图：12寸中试线的工艺设备

面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内，产业园以智能传感器为核心，以创新平台和龙头企业为支撑，伴有精准的政策助力，发展传感器特色工艺，积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业，促进产业集聚和协同发展，力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。

国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新，以关键共性技术的研发和中试为目标，联合中国传感器与物联网产业联盟1000+ 家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发，形成“产、学、研、用”协同创新机制，加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。