国外研发可改善日常微型设备的新型MEMS气压传感器

　　据外媒报道，宾厄姆顿大学、纽约州立大学的一个机械工程师团队正在研究一种革命性的微型开关，该技术的研究发现了另一种应用。在找到一种可以更好控制的新型MEMS（微机电系统）后，研究人员利用这些知识来构建可以改善许多日常设备的气压传感器。

托菲吉安

　　宾汉姆顿大学托马斯·沃森工程与应用科学学院机械工程学副教授、首席研究员沙赫扎德·谢里·托菲吉安：“这与我们过去设计的设备具有相同的机制，但是它的应用有所不同。传感器的核心仍然由四个电极组成，而传统的传感器有两个电极，这使我们能够更好地调整系统的属性。”

　　这项研究是由国家科学基金会拨款480958美元资助的。宾厄姆顿大学博士生马克·帕莱（Mark Pallay）在托菲吉安和她的共同首席研究员、机械工程系著名教授罗纳德·N·迈尔斯（Ronald N.Miles）的指导下进行了大量的研究。帕莱毕业后开始在希捷科技公司工作，担任研发工程师。

　　这种MEMS的优势在于其独立的设计，该MEMS是一种具有可移动部件的微型器件，其制造方式与电子产品相同。无需计算机即可分析读数，从而使响应时间更快、更可靠。

　　托菲吉安说：“它不仅能感觉到压力，还能触发开关。通常，传感器需要感应压力，通过软件对其进行处理，以确定是否满足了正确的条件，然后触发开关。这是一个紧凑型压力传感器和开关，因此通过向其中一个电极发送电压，可以使其在不同压力下工作。”

　　与宾厄姆顿大学团队迄今为止设计的所有MEMS开关一样，这种新产品可以有多种用途，例如测量大气压、在医院监测早产儿的氧气或检测车辆的轮胎压力。

　　托菲吉安说，“有时检测压力阈值至关重要， 例如，当您乘坐飞机时，如果气压降低到一定量以下，您希望防毒面具掉下来。很容易将偏压设置为自动触发。”