GlobalFoundries推进MEMS晶圆量产

      10月15日消息，GlobalFoundries200mm晶圆事业部高级副总裁Raj-Kumar近期在上海透露，GlobalFoundries的MEMS晶圆量产能力目前在2000-3000片/月，而随着技术的改进和工艺装备的革新，未来2-3年月产能有望增加2倍。

　　Raj-Kumar是在出席全球技术论坛(GTC)时向媒体做上述表示的。

　　他表示相比其他半导体技术，MEMS行业不是那么统一和规范，因此GlobalFoundries的一个目标就是努力推进MEMS的标准化。

　　他同时否认了GlobalFoundries将为MEMS新建生产线的说法，而是改进现有200mm晶圆生产线。“MEMS和200mm晶圆生产线在前端设备方面是一样的，但在后端需要加上相关专属设备，因此GlobalFoundries不会再新建生产线。”他表示。

　　微机电系统(MEMS)是半导体市场成场最快的区块之一，GlobalFoundries在MEMS方面的研发将着重于加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。

　　而在10月13日，GlobalFoundries宣布与SVTC技术公司结成战略联盟，SVTC将协助GlobalFoundries使用全系列的先进CMOS与MEMS设备，为顾客开发硅晶圆解决方案，同时为GlobalFoundries工程师提供MEMS技术研发支持及培训。

　　Raj-Kumar同时透露GlobalFoundries希望通过当下的系列措施，到2015年成为大型MEMS晶圆代工厂。