日本产业技术综合研究所开发出在塑料薄膜上印刷形成Al电极和布线的技术

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在塑料薄膜上印刷形成的Al布线

　　日本产业技术综合研究所（产综研）在塑料薄膜上使用铝（Al）等易氧化的金属，成功地以印刷技术形成了电极和布线。该技术是使用金属胶形成印刷图案后，为使金属粒子凝聚，以力学能量代替热能而实现的。另外，因加工温度降低到150℃以下，可以通用的PET薄膜作底板。用此次的印刷技术，还成功地在薄膜上形成了基于铜(Cu)、锌(Zn)以及锡(Sn)的金属图案。 

　　此前印刷形成布线和电极时，使用金属胶形成印刷图案后，需要用400℃以上的高温加热烧结使金属粒子凝聚，以降低金属图案的电阻。然而，Al 等高温下容易氧化的金属布线，会因为加热工序而氧化使电阻值增大。因此，印刷形成电极和布线图案比较困难，通常需要进行真空处理。印刷用的金属材料仅限于银（Ag）、金（Au）以及碳（C）等不易被氧化的材料。 

　　与此同时，产综研还开发出改变了金属成分的合金胶，能够印刷形成具各种工作函数的金属电极图案。由印刷技术而形成的元件，电极的工作函数对于控制活性层和电极间电荷的移动性能很重要。此次，通过调节金属成分，使用控制工作函数的电极，在薄膜上印刷形成二极管。该二极管的电极材料使用Ag和 Al，都是以此次开发的印刷技术形成的。活性层使用高分子半导体，通过铸造方法形成薄膜。这样，因制成的二极管表现出良好的特性，证实以印刷技术形成的各种工作函数的电极的功能有效。 

　　产综研期待将该技术用于柔性显示器和柔性太阳能电池等柔性器件的制造。（记者：吉泽 惠）