VICTREX PEEK获选清洁室晶圆批次追踪货架系统

德国Ortner公司是半导体和制药工业用清洁室输送和物流系统制造商。Ortner公司在计划开发半导体工业用智能化清洁室货架系统时，选用英国威格斯公司(Victrex plc)的VICTREX PEEK高性能聚合物制造货架托盘，据称在所有的测试材料中，VICTREX PEEK具有最佳的耐磨损性能。

威格斯公司半导体和显示产品全球应用经理Sam Brahmbhatt称：“每次新一代的新型IC面世，均要求更低的粒子污染，以防止晶圆损耗。在晶圆输送和处理过程中引入的外部粒子是主要的污染源。许多接触方式都会产生磨损粒子，例如在晶圆载体和存储盒中，粒子的主要是由于晶圆在尖锐对象上面刮擦、在不锈钢表面滑动、晶圆直接接触，以及载体和存储盒相互作用等情况而产生。”

据介绍，VICTREX PEEK聚合物能够满足最严格的清洁室析出物、湿处理、制药处理和分析化学应用之要求，可以防止无意中产生的晶圆掺杂和微粒脱落。添加剂、填充物或稳定剂等会在流体中浸出或在真空或高热环境中产生烟气，但VICTREX PEEK聚合物却完全不含这些成分。Brahmbhatt称：“此外，VICTREX PEEK具有出色的机械、化学、耐热和磨擦性能，能够制造出可靠的货架系统，不但使用寿命长久，而且可以减少维护和停机成本。”

Ortner公司名为AWIC3的货架系统是以射频识别(RFID)技术为基础，提供了易于输送的解决方案，可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次。每个存储位置都会与晶圆批次信息自动链接，当操作人员将某批次晶圆随意放置在货架位置上时，专用开关机制便会立即启动RF信息读入过程。所有数据将会收集于一个中央数据库中，方便工作人员在企业内联网上任何PC终端机，通过独立操作系统的图示网络界面来查询数据。此外，正确存储位置的LED灯将会亮着，让操作人员知悉该批次晶圆的实际位置。

·惠普开发提高企业数据中心效率的智能货架2005-5-18 21:56:23